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半导体行业EHS体系认证

类别:文章分享 发布时间:2021-12-03 浏览人次:

在半导体制程工业中,芯片生产要经历几百道工序,就会用到大量特殊气体。大多数特殊气体易燃、易爆、剧毒、腐蚀性气体,为了安全输送和使用这些危险气体,半导体厂将安装电子特殊气体系统,配备电子特殊气体柜GC、气体分配箱VMB、特殊气体泄漏监测报警器等特殊设备。

因特种气体的特殊性,承载特种气体的气瓶柜体须为防爆柜体,同时为保证半导体制程工艺中特种气体的稳定供气和安全,应具备多种功能,如柜内气体泄漏侦测报警、PLC面板控制、全自动吹扫等,提高使用安全系数,有效的保护生产安全和人员的生命安全。其次,半导体行业配置电子特气柜需要拥有SEMI S2认证。

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S2的对象是半导体工艺设备,是环境、健康、安全标准,即EHS标准,因为半导体行业涉及许多特殊气体、化学品和电气、游离和非游离辐射,如果处理不当,下游用户使用容易导致事故甚至灾难,因此设备制造商设备产品如电子气柜,SEMIS2认证极其重要。

从上述描述可以看出,在半导体制造过程中,需要安全和稳定使用特殊气体,普通气瓶柜在材料和功能上都不能满足要求,因此半导体行业应配备具有SEMIS2认证的电子特殊气体柜。


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